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**种形式在较小规模低等级标准的洁净室设计中被广使用,针对大规模**别的净化室则存在运作成本太高、占空间太大等问题。
第二种方式的设计方案能够满足集成电路制造净化室大规模**别的规定,但运作费用较高,而且净化室风力、风量调节艰难,系统更新更新改造艰难,因而实际操作协调能力比较低。
第三种的FFU循环不但节约运作室内空间、洁净度等级安全系数高、运行成本低,而且操作协调能力非常高,可以在不影响生产的情形下随时进行系统更新和优化,这种都能很好地达到半导体设备的需要,因而在半导体加工制造业FFU循环逐步形成**重要的清洁设计。
FFU循环的特点就是:全部净化室由负压层、加工工艺层、加工工艺协助层及送风安全通道构成,由FFU给予循环空气的驱动力,将新风系统、内循环混合均匀根据超高效过滤器送进加工工艺层制造工艺协助层,负压层相较于加工工艺层为负压力。除此之外,也有生产制造协助区为集成电路制造厂务机器设备地区,包含能源供应、气体化工品供货、超纯水系统供货等。
FFU电机控制系统方法是什么?FFU电机控制系统方式关键包括两个方面;在目前市面上FFU电动机依据电源种类可以分为交流电动机和直流无刷电机。交流电动机还有单相电和三相差别,电源电压大致有110V、220V、270V、380V、480五种。交流电机同直流电机相比,具有结构简单、体型小、生产制造便捷、运行稳定、质优价廉、坚固*用等一系列的优势,主要缺点变速特性不太好。其控制方法主要分两档拨动开关,变压操纵,变频驱动等。
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